煙氣脫硫脫硝臭氧發(fā)生器消毒氧化裝置是一種新型的同時脫硫脫硝去除技術，利用臭氧的強氧化性將煙氣中的NOx和SOx氧化成價格較高的水溶性化合物，然后通過濕法洗滌吸收。通過臭氧氧化和尾氣洗滌，NOx去除效率通常超過95%，SOx去除效率十分可觀。由于目前臭氧制備和儲存成本高，其應用范圍有限；國外煉油廠采用臭氧去除技術的應用案例相當多。近年來，隨著國家限制煙氣排放標準的提高，我國出現了一些采用這種工藝的單位。

臭氧脫硫脫硝工藝和傳統(tǒng)濕法脫硫工藝都有一套吸收塔系統(tǒng)。不同的是煙氣在進入吸收塔系統(tǒng)之前需要經過臭氧氧化。在自然界的所有化合物中，臭氧是僅次于氟的強氧化劑，所以臭氧容易分解，不易保存，一般都是在制備的時候使用臭氧。目前制備臭氧的方法主要有三種：光化學法、電化學法和電暈放電法。

光化學是指通過紫外線照射將氧氣轉化為臭氧的過程，是地球大氣中臭氧的形成機制和醫(yī)用臭氧的制備。

電化學方法通過消化純水產生臭氧。這種過程由來已久。目前其制備量已達到工業(yè)水平要求，臭氧產生量約為100g/h。

電暈放電法是目前工業(yè)臭氧生產中廣泛使用的方法。這項技術每單位可生產500公斤/小時的氧氣。該方法是通過在暈圈釋放區(qū)留下干燥的含氧氣體來制備臭氧的方法。

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